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화학분석
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| [미세조직 및 구조분석장비] 전자선 미소 분석기(Electron probe micro-analyzer) | |
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| 장비유형 | 미세조직 및 구조분석장비 |
| 기본원리 | 집속된 전자빔을 시료 표면에 주사시켜 시료로부터 발생된 이차 전자를 검출하여 시료 표면의 형상을 관찰하며, 시료로부터 발생된 특성 X선을 검출하여 성분 원소를 분석함 |
| 모델명 | AMETEK, CAMECA SX-100 |
| 구성 및 사양 | 전자총 (텅스텐), Main body Chamber, WDS 4CH, EDS 1CH ( Oxford ) (1)주요기능 : 전자선 미소 분석 (2)가속 전압 : 1~30KV (3)분해능 : 6.0nm at 30KV (4)배율 : X100 to X50,000 (5)WDS 성분분석 : 검출 원소: B ~ U (6)EDS 성분분석 : 검출 원소: B ~ U |
| 활용분야 | (1)시료 표면의 형상 관찰 (2)미소부위 원소 성분의 정성 (3)정량분석 (B~U 원소) |
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