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    표면분석

    표면 분석

    각종 소재의 산화층, 기능성 표면처리층의 조성, 형상, 구조, 두께 등에 대한 정보를 수nm의 수준까지 분석하여 소재의 표면 특성에 대한 정보를 제공

    주요 분석 시료

    • 반도체, 자성박막, 유기박막, 다충박막
    • 금속재료(표면처리 강판 및 기타)
    • 신소재, 촉매, 절연체 및 전기 부품
    • 세라 및 및 고분자 재료

    주요 분석 기술

    • 표면층 수 nm의 원소분석, 깊이 방향의 원소 분포, 성분의 면분석
    • 표면층 수 nm의 원소 분석 및 분자구조해석, 깊이 방향의 원소 분포, 성분의 면분석
    • 수 ㎛영역의 정성 및 정량분석, 원소분포(면분석, 선분석)
    • 미소영역의 ppm 농도 레벨의 미량원소의 표면 분석, 깊이 방향 분석, 선분석, 3D-map, 동위원소분석
    • 2~4mn ∮의 macro영역에서 10㎛ 깊이의 원소 정량, 정성 분석, ppm 수준의 표면 깊이 방향 농도 분석
    • 박막의 평가, 다층박막의 층 두께, 계명 조도 등 평가

    주요 장비

    FE-SEM, XPS(ESCA), EPMA, SIMS, GDS, GD-MS, 방사광 XRD/EXAFS 빔라인

    기술 자문 및 해석

    기술 자문 및 해석

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    junhyuk24@rist.re.kr 표계면 분석
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