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    고순도/극미량 분석

    고순도 소재 극미량 원소 분석

    원소 질량에 대한 분석 기술을 기반으로, 반도체는 물론 다양한 고순도 소재의 순도와 극미량 불순물을 분석하고 있습니다. 특히, GD-MS를 이용한 고체 시료의 전원소순도 분석과 클린룸에서 전처리되는 고순도 재료의 극미량 무기원소 분석은 세계적 수준의 분석 서비스로 평가받고 있습니다.

    서비스 영역

    • 반도체 재료 및 원료의 극미량 원소 분석 : poly-Si, SiC, Alumina, Silica 등
    • 고순도 소재의 순도 분석 : Ta, W, Mo, Cu, Graphite 등
    • 극미량 원소의 위치별 분포 분석 : mapping, depth profiling 등

    극미량 시료 분해실, 고순도 Cu 시료 분해, LA-ICP-MS 분석, GD-MS 분석

    기술 자문 및 해석

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