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시험분석
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| [미세조직 및 구조분석장비] 이온 빔 집속 장치(Focused Ion Beam) | |
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| 장비유형 | 미세조직 및 구조분석장비 |
| 기본원리 | (1)고전압으로 가속된 Ga 이온을 시료에 집속하여 미세 영역에 대한 정밀가공이 가능 (2)Dual Beam 활용으로 SEM, FIB 분석 가능 |
| 모델명 | SEIKO. SMI3050SE |
| 구성 및 사양 | (1)SEM Image Resolution : 4.0nm @ 30kV, 5.0nm @ 1kV (2)Ion Source : Liquid metallic Gallium (3)FIB Maximum probe current : 20nA @ 30kV (4)EDS : Spectroscopic Resolution at Mn 138eV |
| 활용분야 | (1)TEM Sample 가공 (2)결함 원인분석 |
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