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시험분석
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| [미세조직 및 구조분석장비] 주사전자현미경(Scanning electron microscope) | |
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| 장비유형 | 미세조직 및 구조분석장비 |
| 기본원리 | 고압의 전자선을 시료 표면에 조사하여 발생되는 이차전자선을 수집하여 시료 표면을 관찰하고, 특성 X선을 이용하여 미소부위의 원소를 정성, 정량 분석함 |
| 모델명 | JEOL, JSM-6610 |
| 구성 및 사양 | 1.구성 : 전자총, 전자, 주사용 코일, 이차 전자 및 후방산란전자 검출기, EDS 검출기(Oxford INCA M/X) 2. 사양 : (1)주요기능 : 주사전자현미경 (2)가속 전압 : 1~30KV (3)분해능 : 3.0nm at 30KV (4)배율 : X30 to X300,000 (5)EDS 성분분석 : 검출 원소: B ~ U |
| 활용분야 | (1)미소 부위의 형상 관찰 (2)미소 부위 원소 정성, 정량 분석 |
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