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시험분석
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| [표면분석장비] 주사형 오제전자 현미경(SCANNING AUGER MULTIPROVE) | |
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| 장비유형 | 표면분석장비 |
| 기본원리 | 전자빔 여기에 의해 시료 표면으로부터 방출되는 이차 전자와, 원소 고유의 에너지 스펙트럼을 갖는 Auger 전자를 검출하는 SEM 과 SAM 기능이 있음 |
| 모델명 | ULVAC PHI, PHI700 SAM |
| 구성 및 사양 | (1)구성: 전자총, 분석실, 분광기, 이온총 (2)사양: Beam size 7nm, Sensitivity 700Kcps, Energy resolution 0.5%, Ion Gun Performance 5kV at ≥5㎂, 500eV at ≥0.5 ㎂ |
| 활용분야 | (1)미소 부위 관찰 및 오염 검사 (2)금속, 반도체, 표면처리 강판, 전자 소재등의 표면 및 계면 분석과 깊이 방향 분석 |
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