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시험분석
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| [표면분석장비] 이차이온질량분석기(Secondary Ion Mass Spectrometer) | |
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| 장비유형 | 표면분석장비 |
| 기본원리 | 1~20keV의 운동 에너지를 가진 일차 이온 빔을 고체시료표면에 충돌시켜, 고체 표면이나 내부의 원자들을 이온화 상태로 Sputtering한 후 생성된 이차이온을 질량분리기에 통과시켜 에너지와 질량에 따라 분리하여 검출하는 분석기술 |
| 모델명 | CAMECA, IMS6F |
| 구성 및 사양 | (1)Ion Source-Primary column-Collection optic-Energy analyzer-Mass spectrometer-Detector (2)Mass Resolution (M/ᅀM): 25000 (3)최소 빔 직경: Cs+ 0.2um, O2+ 0.3um |
| 활용분야 | 반도체, 금속 재료 등, 각 분야 물질의 극 표면 층과 박막 층의 미량원소성분 물질 이동, 깊이 방향 원소농도분포, 합금의 표면조성 분석,지원 |
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