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| [표면분석장비] 광전자 분광 분석기(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis) | |
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| 장비유형 | 표면분석장비 |
| 기본원리 | X선 광자의 여기에 의해 시료로부터 방출되는 원자 결합상태에 따른 고유의 특성 에너지를 갖는 광전자를 검출하여 표면 원소의 화학 상태를 분석하는 장치 |
| 모델명 | VG SCIENTIFIC, NOVA |
| 구성 및 사양 | (1)구성: X선 광원(단색화 장치), 분광기 및 분석실, 이온총 (2)사양: Minimum analyzer size15 μm~1 mm, Energy Resolution 0.42eV, Ion Gun Performance≤ 5㎂, Low voltage>100 eV |
| 활용분야 | (1)미소 부위 관찰 및 오염 검사 (2)극표층 및 깊이방향 화학 상태 분석 (3)금속, 반도체, 절연물, 촉매, 고분자, 나노소재 등에 이용 |
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