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시험분석
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| [미세조직 및 구조분석장비] 구면수차보정 투과전자현미경(Cs-Corrected TEM/EF-EELS) | |
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| 장비유형 | 미세조직 및 구조분석장비 |
| 기본원리 | 200KV 고전압의 전자빔을 시험편에 조사시켜 투과 또는 회절되는 전자빔을 이용하여 시험편의 미세조직 관찰 및 구조분석을 실시하며, 이때 발생하는 특성X-ray를 수집하여 미소영역의 성분 분포및 정성 정량 분석을 실시 |
| 모델명 | JEOL, ARM200 |
| 구성 및 사양 | Cold FEG, Probe/Image double Cs-Corrector, EDS(100mm2), EF-EELS(Gatan) |
| 활용분야 | 철강 경원소 분석, Li 대기비개방 분석, 그래핀 원자 배열 관찰, SiC 나노구조 결함 관찰 등 |
