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| [미세조직 및 구조분석장비] 전계 방사형 전자 미소 분석기(Field Emission Electron probe micro-analyzer) | |
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| 장비유형 | 미세조직 및 구조분석장비 |
| 기본원리 | 전계 방사된 전자 빔을 집속하여 시료 표면에 주사시켜 시료로부터 발생된 이차전자를 검출하여 시료 표면의 형상을 관찰하며, 시료로부터 발생된 특성 X선을 검출하여 성분 원소를 분석함 |
| 모델명 | JEOL, JXA-8530F |
| 구성 및 사양 | 1.구성 : 전자총 (FE-Gun), Main body chamber, WDS 5CH, EDS 1CH ( Oxford ) 2.사양 : (1)주요기능 : 전계 방사형 전자선 미소 분석 (2)가속 전압 : 1~30KV (3)분해능 : 3.0nm at 30KV (4)빔 안정도 : 0.5% h/ at 20KV (5)WDS 성분분석 : 검출 원소: B ~ U (6)EDS 성분분석 : 검출 원소: B ~ U |
| 활용분야 | (1)시료 표면의 형상 관찰 (2)미소부위 원소 성분의 정성 (3)정량분석 (B~U 원소) |
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