시험분석
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[표면분석장비] 주사전자현미경(Field Emission Scanning electron microscope) | |
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장비유형 | 표면분석장비 |
기본원리 | 전자현미경은 높은 에너지의 전자빔을 이용하여 전자가 시편과 충돌할 때 발생하는 이차전지,반사전자,투과전자,가시광선x-선등의 신호를 검출하여 모니터에 확대상을 표시하며, 시료의 형태,미세구조의관찰이나 구성원소의분포,정성,정량등을 분석하는 장치이다. |
모델명 | JEOL:JSM 7600F, HITACHI: S 4300SE |
구성 및 사양 | (1)JSM 7600F : Resolution- 1.0nm at 15kv, Magnification-x25-100k (2)S 4300SE : Resolution -1.5nm at 15kv, Magnification-x25-50k |
활용분야 | 미세 형상관찰 및 성분분석 |