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    전체장비

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    [표면분석장비] 주사형 오제전자 현미경(SCANNING AUGER MULTIPROVE)
    장비유형
    표면분석장비
    기본원리
    전자빔 여기에 의해 시료 표면으로부터 방출되는 이차 전자와, 원소 고유의 에너지 스펙트럼을 갖는 Auger 전자를 검출하는 SEM 과 SAM 기능이 있음
    모델명
    ULVAC PHI, PHI700 SAM
    구성 및 사양
    (1)구성: 전자총, 분석실, 분광기, 이온총  (2)사양: Beam size 7nm, Sensitivity 700Kcps, Energy resolution 0.5%, Ion Gun Performance 5kV at ≥5㎂, 500eV at ≥0.5 ㎂
    활용분야
    (1)미소 부위 관찰 및 오염 검사  (2)금속, 반도체, 표면처리 강판, 전자 소재등의 표면 및 계면 분석과 깊이 방향 분석

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