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고순도 소재 극미량 원소 분석

원소 질량에 대한 분석 기술을 기반으로, 반도체는 물론 다양한 고순도 소재의 순도와 극미량 불순물을 분석하고 있습니다. 특히, GD-MS를 이용한 고체 시료의 전원소순도 분석과 클린룸에서 전처리되는 고순도 재료의 극미량 무기원소 분석은 세계적 수준의 분석 서비스로 평가받고 있습니다.

서비스 영역

• 반도체 재료 및 원료의 극미량 원소 분석 : poly-Si, SiC, Alumina, Silica 등
• 고순도 소재의 순도 분석 : Ta, W, Mo, Cu, Graphite 등
• 극미량 원소의 위치별 분포 분석 : mapping, depth profiling 등

기술 자문 및 해석