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    전체장비

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    [표면분석장비] 광전자 분광 분석기(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)
    장비유형
    표면분석장비
    기본원리
    X선 광자의 여기에 의해 시료로부터 방출되는 원자 결합상태에 따른 고유의 특성 에너지를 갖는 광전자를 검출하여 표면  원소의 화학 상태를 분석하는 장치
    모델명
    VG SCIENTIFIC, NOVA
    구성 및 사양
    (1)구성: X선 광원(단색화 장치), 분광기 및 분석실, 이온총  (2)사양: Minimum analyzer size15 μm~1 mm, Energy Resolution 0.42eV, Ion Gun Performance≤ 5㎂, Low voltage>100 eV
    활용분야
    (1)미소 부위 관찰 및 오염 검사  (2)극표층 및 깊이방향 화학 상태 분석  (3)금속, 반도체, 절연물, 촉매, 고분자, 나노소재 등에 이용

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