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시험분석
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| [미세조직 및 구조분석장비] 미소부전자선분석기(Electron Probe Micro-Analyzer) | |
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| 장비유형 | 미세조직 및 구조분석장비 |
| 기본원리 | 집속된 전자빔을 시료에 주사시켜 시료로 부터 발생된 2차전자를 검출하여 그강도를 모니타 상에 휘도 변조시켜 시료 표면 형상을 관찰하며 시료로 부터 발생한 특성 X-선을 검출하므로서 원소 분석을 할 수 있다 |
| 모델명 | Shimadzu,EPMA-1600 |
| 구성 및 사양 | (1)구성:전자총,이차전자 및 역산란 전자 검출기,EDS검출기,WDS검출기 (2)사양:가속전압30kv,분해능6nm,배율100-50,000,EDS 원소 성분의 검출범위B-U |
| 활용분야 | (1)시료 표면의 형상관찰 (2)미소부위 원소 성분의 정성,정량분석 |
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