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시험분석
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| [미세조직 및 구조분석장비] 이온 빔 집속 장치(Focused Ion Beam) | |
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| 장비유형 | 미세조직 및 구조분석장비 |
| 기본원리 | 고전압으로 가속된 Ga 이온을 시료에 집속하여 미세 영역에 대한 정밀가공이 가능 |
| 모델명 | Carl Zeiss. AURIGA |
| 구성 및 사양 | (1)SEM : GEMINI Column 1.0nm @ 15kV, 1.9nm @ 1kV (2)FIB : Cobra Column 2.5nm @ 30kV (3)EDS : Bruker Q400 Spectroscopic Resolution at Mn 127eV |
| 활용분야 | (1)단면 미세구조 분석 (2)결함 원인분석 |
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